It-terminu "purifikazzjoni" għandu storja twila fiċ-Ċiniż, li oriġinarjament ifisser "biex tagħmel nadif u pur", u jista 'jirreferi b'mod wiesa' għall-proċessi u t-teknoloġiji kollha għat-tneħħija tal-impuritajiet u l-eliminazzjoni tat-tniġġis. It-termini Ingliżi korrispondenti jinkludu "purifikazzjoni" (tenfasizza l-purità) u "clean" (tenfasizza l-indafa). Għalhekk, l-espressjoni Ingliża għall-inġinerija cleanroom tinkludi "Purifikazzjoni Inġinerija", "Clean Engineering," jew "Cleanroom Technology", fost oħrajn. Din it-tifsira wiesgħa tiddetermina li l-inġinerija tal-kamra nadifa għandha konnotazzjonijiet distinti f'dixxiplini differenti.
L-inġinerija moderna tal-kamra nadifa, bit-teknoloġija tal-kamra nadifa fil-qalba tagħha, oriġinat fis-snin ħamsin. Matul il-Gwerra Koreana, il-militar tal-Istati Uniti skopra li ħafna strumenti elettroniċi kienu spiss ma jaħdmux ħażin minħabba l-intrużjoni tat-trab, li xpruna l-iżvilupp tat-teknoloġija tal-purifikazzjoni tal-arja, speċjalment ir-riċerka u l-applikazzjoni ta 'filtri tal-partikulati ta' effiċjenza għolja -(HEPA). Fl-1961, Willis Whitfield tal-Laboratorji Nazzjonali Sandia ippropona "fluss laminari" (issa msejjaħ uffiċjalment "fluss unidirezzjonali") skema ta 'organizzazzjoni ta' fluss ta 'arja nadifa, li tippermetti li kmamar nodfa jiksbu livelli ta' ndafa mingħajr preċedent. Fl-istess sena, il-Forza tal-Ajru tal-Istati Uniti ħarġet l-ewwel standard tal-kamra nadifa fid-dinja, u fl-1963, ġie ppubblikat l-Istandard Federali tal-Istati Uniti FED-STD-209, li jimmarka l-formazzjoni inizjali tas-sistema tat-teknoloġija tal-kamra nadifa. Sussegwentement, bl-iżvilupp mgħaġġel ta 'industriji bħal ċirkwiti integrati u bijomediċina, it-teknoloġija tal-inġinerija tal-kamra nadifa kontinwament innovat u evolviet.
Fiċ-Ċina, il-"Kodiċi tad-Disinn ta 'Kleanroom" (GBJ 73-84) ġie promulgat fl-1984, u l-"Kodiċi ta' Kostruzzjoni u Aċċettazzjoni ta 'Kleanroom" (JGJ 71-90) ġie promulgat fl-1990. Wara diversi reviżjonijiet, sistema standard nazzjonali b'GB 50073-2013 ġiet iffurmata "Cleanroom Design" fil-qalba tagħha. Internazzjonalment, is-serje ta 'standards ISO 14644, miġbura mill-kumitat tekniku ISO/TC209, huma l-linji gwida komuni għal kmamar nodfa u ambjenti kkontrollati relatati. pajjiżna adotta dawn l-istandards u implimentahom bħala s-serje GB/T 25915.